| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 | Analysis of Light Extraction Efficiency of AlGaInP-based Red LED according to diameter of surface pattern |
| 초록 | LED는 저전력, 고효율 발광소자로써 다양한 조명분야에서 각광받고 있다. 그 중에 AlGaInP 기반의 사성계 적색 발광다이오드의 경우 높은 crystal quality를 보이며 신뢰성있는 발광다이오드 소자로써 많은 연구가 진행되고 있다. 하지만, AlGaInP 기반의 적색 발광다이오드의 경우 AlGaInP의 높은 굴절률(n=3.2 @ 615 nm)로 인해 활성층에서 형성된 광자가 외부 봉지재(n=1.5) 및 공기(n=1)로 방출 시 내부전반사가 심하게 발생되는 문제점이 있다. 이 경우 광추출효율의 저하로 인해 AlGaInP 기반의 적색 LED의 외부양자효율의 한계가 발생한다. 본 연구에서는 AlGaInP 기반의 적색 LED 표면에 나노임프린트 리소그래피 및 건식 식각 공정을 이용하여 균일한 표면 패턴을 형성함으로써 AlGaInP 적색 LED 소자의 내부전반사를 최소화하고 광추출효율을 향상시키고자 하였다. 또한 패턴의 직경에 따른 광추출효율 향상효과를 비교하기 위해 AlGaInP LED 표면에 1 ㎛, 3 ㎛의 직경, 1.2 ㎛ 의 높이를 갖는 패턴 구조를 형성하고 이에 따른 광출력을 측정하였다. 또한, 패턴 형성 공정 시 발생할 수 있는 전기적 특성 저하를 확인하기 위해서 AlGaInP LED의 I-V 특성을 평가하였다. |
| 저자 | 박상준, 조중연, 김진승, 이헌 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | Nano imprint; Red LED; Light Extraction Efficiency |
