| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | E. 구조 재료(Structural Materials) |
| 제목 | LED사파이어단결정제조시 텅스텐히터의 사용 사이클에 따른 미세조직 및 기계적 특성 변화 |
| 초록 | LED용 사파이어 단결정제조시 성장노의 내부는 약 2300℃ 이상의 초고온 환경에 장시간 노출됨으로 인해 내부의 부품소재들은 쉽게 고온변형의 위험에 접하게 된다. 특히, 가열 히터재료로 사용되고 있는 텅스텐 히터는 발열체이므로 열적 변형을 직접적으로 받을 수밖에 없으므로 빈번히 고온변형을 일으켜 결국에는 파단에 이른다. 그러나 고온변형 및 파단의 원인이 아직 불분명하여 텅스텐히터의 수명 연장을 위한 대책을 마련하는데 많은 애로를 겪고 있다. 그러므로 사파이어단결정 성장로 내부의 텅스텐Heater의 고온 변형의 원인을 분석하는 것은 매우 중요하다. 본 연구는 그 원인 규명을 위한 기초연구로 실시되었으며, 사파이어 단결정 성장 사용 주기(싸이클)별 텅스텐히터의 미세조직 변화와 기계적 특성 변화를 조사하여 상관관계를 분석하였다. 감사의 글: 본 연구는 대불산학융합지구조성사업의 Project Lab 연구과제로 진행되었으며 사업단 관계자 여러분께 깊은 감사를 드립니다. |
| 저자 | 박민경1, 홍선미1, 장준혁1, 홍동민1, 마용준2, 한중상2, 이성희1 |
| 소속 | 1목포대, 2DK아즈텍 |
| 키워드 | 텅스텐히터; LED; 미세조직; 기계적 특성; 결정립성장 |
