| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2011년 가을 (11/02 ~ 11/04, 경원대학교) |
| 권호 | 15권 2호 |
| 발표분야 | 환경.에너지 |
| 제목 | 불화기체의 분리를 위한 흡착공정에서의 특성 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 반도체공정 및 중전기산업에서 배출되는 불화기체의 효율적인 분리ㆍ농축 기술 개발을 위하여 연속흐름 흡착탑에서의 흡착특성에 관한 연구를 진행하였다. 배출기체 중 지구온난화를 일으키는 SF6와 CF4기체의 흡착파과실험을 활성탄 흡착제를 이용하여 수행하였으며, PSA와 TSA방식 흡착공정의 실험적 연구를 진행하였다. 본 연구를 통해 구득한 자료로부터 흡착공정을 이용하여 불화기체를 분리하는 기술의 기초자료를 제시하고자 한다. |
| 저자 | 이민우1, 이현정1, 김한별1, 유경선2, 김성현3, 이상협1 |
| 소속 | 1한국과학기술(연), 2광운대, 3고려대 |
| 키워드 | adsorption process; gas separation; activated carbon; breakthrough curve |
