| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (05/17 ~ 05/19, 목포 현대호텔) |
| 권호 | 23권 1호 |
| 발표분야 | G. 나노/박막 재료 분과 |
| 제목 | Al2O3 나노입자 분산용액을 이용한 Al2O3 구조체 마이크로 나노 패터닝 방법 |
| 초록 | 나노 임프린트 리소그래피는 다양한 패터닝을 할 수 있는 패터닝 공정이다. 나노 임프린트 공정은 간단하고 저비용 공정으로 대멱적높은 수율의 패터닝을 할 수 있고 다양한 레진을 이용하여 패터닝을 할 수 있는 장점을 가지고 있다. Al2O3는 고굴절, 고강도, 좋은 전기절연성 및 화학적 안정성 등을 갖는다. 이러한 다양한 재료적 특성으로 인하여 Al2O3는 passivation layer, substrate, LED 등에 다양하게 사용된다. Al2O3 나노 마이크로 구조체를 제작하여 다양한 소자에 적용 시킴으로써 각 소자의 효율을 증가시킬 수 있을 것으로 예상된다. 이번 연구에서 Al2O3 나노 마이크로 구조체들의 다양한 특성에 대해 조사하였다. 우선 Al2O3 나노 마이크로 구조체를 형성하기 위해서 마이크로 구조체가 복제되어있는 mold를 만든다. 만들어진 mold에 만들어 놓은 Al2O3 나노입자 분산용액을 spin coater를 이용하여 coating한다. 후에 원하는 기판을 coating된 mold에 접촉시킨 후에 압력을 줌과 동시에 UV도 같이 주어 Al2O3 나노입자 분산용액을 경화시켜 Al2O3 나노 마이크로 구조체를 만들 수 있다. Al2O3 나노 마이크로 구조체들을 나노 주사형 전자 형미경을 통해서 Al2O3나노 입자를 이용한 다양한 나노 마이크로 구조체들이 잘 형성되었음을 확인할 수 있었다. 또한 Al2O3의 열처리에 따른 상변화와 결정성을 XRD를 이용하여 조사하고, 강도를 나노 인덴터를 이용하여 측정하였다. Al2O3의 고굴절 특성을 알아보기 위하여 조성에 따른 굴절률을 측정하였다. 마지막으로 가장 중요한 다양한 Al2O3 나노 마이크로 구조체들의 광특성을 조사하기 위해서 UV – vis 분광기를 이용하여 각 구조체에 따른 투과도, 산란도, 반사도를 조사하였다. 위의 Al2O3 나노 마이크로 구조체들의 형성을 통한 다양한 특성들의 적용에 대해서는 향후에 논의할 것이다. |
| 저자 | 박재민, 이헌, 성영훈, 최진영, 허대홍, 손수민 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | 나노 임프린트 리소그래피; Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>; 나노입자 |
