| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2008년 가을 (10/23 ~ 10/24, 부산 BEXCO) |
| 권호 | 14권 2호, p.3032 |
| 발표분야 | 환경 |
| 제목 | 육불화황가스제거용화학반응 고정제에 관한 연구 |
| 초록 | PFCs는 지구온난화 가스로서 2010년 이후에는 교토의정서에 의거하여 배출이 규제되고 있다. 이에 따른 배출 규제 대상 물질로서 국제적 사용규제에 따른 반도체 생산에 차질이 예상되고 있다. 특히, 국내의 반도체,LCD제조공정의 에칭공정 후에 배출되는SF6가스의 배출을 제어하기 위하여 기존의 PFC처리기술로서 촉매, 플라즈마, 열적산화에 의한 저감기술 등의 다양한 방법 및 처리장치가 개발되어 적용되고 있다. 본 연구에서는 SF6 가스의 배출을 제어하기 위한 화학고정제를 제조하여 SF6가스의 배출을 제어할 수 있는 화학반응 고정제에 관하여 발표하고자 한다. 이에 관하여 화학고정제의 종류, GHSV, 반응온도에 따른 반응인자를 연구하였으며, 다양한 분석장비를 이용하여 화학고정제의 물리화학적 특성을 관찰하였다. |
| 저자 | 김대성1, 이승호1, 정민규2, 하문수2 |
| 소속 | 1요업기술원 나노소재응용본부 복합재료팀, 2세미라인 |
| 키워드 | 육불화황; 불소화합물; 화학고정제 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
