| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (05/26 ~ 05/27, 무주리조트) |
| 권호 | 11권 1호 |
| 발표분야 | 나노 및 생체재료 |
| 제목 | 유기화학기상증착법으로 성장된 ZnO 나노기둥의 형상 변화 |
| 초록 | ZnO는 다른 화합물반도체에 비하여 간단한 방법으로 쉽게 나노구조 제조가 가능한 것으로 알려져 있으며, 최근 ZnO 나노구조의 여러 가지 전기적, 광학적 특성 등에 대한 보고가 계속되고 있다. 하지만 ZnO 나노구조물의 미세구조 및 크기, 형상등의 제어가 중요한 과제로 남아있다. 본 연구에서는 MOCVD 공정을 이용하여 Al2O3(0001) 기판위에 수직으로 정렬된 ZnO 나노기둥을 성장시켰다. ZnO 나노기둥의 미세구조의 변화가 온도에 따라 바뀜을 확인 하였고 그들의 모양을 변화시키는데 온도가 중요한 변수가 되었다. 450oC 이상에서부터 수직으로 정렬된 ZnO 나노기둥이 형성되기 시작하였으며, 더 높은 온도에서는 바늘모양처럼 선단 부분이 더 날카롭고 가는 나노 기둥이 성장하였다. 이러한 나노기둥들의 변화에 대한 미세구조, 광학적 성질, 결정학적 배향 특성 등을 비교 분석하였다. |
| 저자 | 오창원, 박재영, 정인옥, 문종하, 김상섭 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | ZnO; Nanocolumns |
