| 초록 |
많은 전자기 복사선을 이용한 분석은 표준화된 프로토콜을 이용하고 또한 표준화된 대형의 장비를 이용하여 실시된다. 이로 인하여 표준화된 데이터를 제공할 수 있지만 응용에 따른 적용성, 즉 In-situ 분석이 불가능하다. 이러한 광분석법에서 가장 실시간 분석에 유사한 방법은 샘플을 시간에 따라 채취한 후 시간에 따른 변화를 측정 데이터로서 유추하는 방법이다. 즉, 샘플의 채취 시간 이후의 변화는 전혀 고려할 수 없는 문제점이 있다.이러한 문제점을 감안하여 본 연구에서는 기존 연구에서 광분석 방식과 화학센서 방식을 결합하여, 광측정 방식을 화학센서에 도입하는 기술적인 접근을 소개하고자 한다. 먼저 광/질량 동시 측정 플랫폼을 구성하고 다양한 분석 환경에서 센서의 정량적 신뢰성을 높이고 정성분석 또한 가능함을 제시하고자 한다. 다층박막 제작법인 LBL 공정을 이용하여 본 측정 시스템의 유용성을 제시하고자 하며, 본 발표에서는 광 투과와 표면 질량 증가에 따른 다양한 분석 변수의 변화를 제시하고자 한다. |
