| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (04/23 ~ 04/25, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 1호, p.328 |
| 발표분야 | 분리기술 |
| 제목 | 분리막을 이용한 반도체 디스플레이 폐가스 내 온실기체 (SF6, CF4, CO2) 분리 |
| 초록 | 지구 온난화로 인한 기후변화가 국제적인 문제로 대두됨에 따라 온실기체의 감축이 요구되는 상황이다. 이에 따라 세계 최고의 반도체 디스플레이 기술을 보유한 한국의 경우 해당 산업에서 에칭 및 클리닝에 활용되고 있는 불화가스(SF6, CF4, NF3)의 배출감축기술의 개발이 요구되는 상황이다. 배출기체내 불화가스를 감축을 위한 방법으로 분리막을 이용한 농축 회수 기법이 관심을 받고 있다. 본 연구에서는 분리막 기법을 이용한 디스플레이 산업 배출기체내의 온실기체 분리 회수에 관하여 연구하였다. 다양하게 압력과 유량(Stage cut)을 제어한 조건에서 파일럿 스케일의 분리막 장치를 이용한 배출가스의 분리실험을 수행하였다. Gas FT-IR을 이용하여 배출기체와 회수 기체내의 SF6, CF4, CO2의 조성을 모니터링 하였다. 실험의 결과에서 Stage cut 증가에 따라 회수기체 내 SF6와 CF4의 농축도가 향상되었으며, CO2는 분리막을 통한 높은 투과도로 인하여 회수기체 내에서 검측되지 않았다. 공급 압력은 분리막의 처리용량에 영향을 주는 것으로 나타났으나, 기체 분리성능에는 큰 영향을 주지 않았다. |
| 저자 | 이순재1, 박완근2, 최재우1, 이상협1 |
| 소속 | 1한국과학기술(연), 2KOCAT |
| 키워드 | 분리막; 온실기체 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
