| 초록 |
본 연구에서는 전도성 고분자인 폴리아닐린 나노와이어와 마이크로 필러 구조를 가지는 PDMS(Polydimethylsiloxane)를 이용하여 압력센서를 제작하고, 이를 3차원 스트레쳐블 기판에 집적하여 늘임 가능함을 보고한다. 이 압력센서는 폴리아닐린과 PDMS필름이 샌드위치 형태로 겹쳐진 구조로서, 아랫면에는 Cyclic Voltammetry (CV) 방법으로 Polyethylene terephthalate (PET) 필름에 폴리아닐린 나노와이어를 성장하고, 윗면에는 SU-8 photoresist를 이용하여 제작한 패턴 몰드에 PDMS 부어 마이크로 필러를 만든다. PDMS 마이크로 필러 표면에 금을 증착하여 만든 유연한 전도성 마이크로 필러와 폴리아닐린 나노와이어를 결합하여 센서를 제작한다. 이렇게 제작된 센서는, 압력이 가해짐에 따라 나노와이어와 금이 증착된 마이크로 필러와의 접촉 면적이 변화하여 1kPa 이하의 압력을 감지할 수 있는 높은 전류 민감도를 보인다. 또한 이 압력센서를 본 연구그룹에서 제작한 스트레처블 기판의 한쪽 면에 matrix어레이 형태로 집적하여 각각의 압력센서들이 외부에서 가해지는 스트레인에 안정하게 구동함과 동시에 주소화가 가능하며, 기판 위에 가해진 압력을 이미지화 할 수 있다. 이 연구 결과는 향후 인체 부착형 스트레쳐블 및 웨어러블 소자 개발에 활용될 수 있을 것으로 기대된다. |
