| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | RuO2 나노 입자의 수열 합성 및 전기적 특성 관찰 |
| 초록 | 트랜지스터와 같은 능동소자 및 배선, 저항, 유전체와 같은 수동소자를 전통적인 리소그라피 방식이 아닌 인쇄공정으로 형성하는 연구가 최근 들어 활발히 진행되고 있다. 특히 배선이나 저항 소자와 같은 수동소자는 제조 단가 절감을 위해 태양전지와 디스플레이 분야에서 이미 공정에 적용되고 있다. 본 연구에서는 인쇄 공정에 이용될 저항체 잉크의 재료로서 수 나노미터 크기의 RuO2 입자를 합성하고 특성을 고찰하였다. 합성한 입자는 TOPO(trioctylphosphine oxide)를 이용하여 분산력을 높일 수 있었고 입자의 외형 및 특성은 수열 용액의 pH에 영향을 받음을 확인하였다. 또한 일반적으로 촉매의 도움 없이 Ru 금속입자의 합성이 매우 어려운 것으로 알려져 있으나 180 ℃, 150 kgf/cm2의 수열 조건에서는 나노입자로 합성됨을 확인하였으며, 인쇄된 저항소자의 저항오차가 20 % 이내로 인쇄용 저항소재로 적합함을 확인하였다. |
| 저자 | 이유민, 정택모, 안기석, 이선숙, 김창균, 류병환, 이영국 |
| 소속 | 한국화학(연) |
| 키워드 | RuO2; inkjet printing; resistor; hydrothermal |
