화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2005년 가을 (10/13 ~ 10/14, 제주 ICC)
권호 30권 2호
발표분야 분자전자 부문위원회
제목 Low-voltage Organic Field Effect Transistors using a surface-modified anodic alumina gate dielectric
초록 유기전계효과트랜지스터(Organic Field-Effect Transistor)에 있어서 저전압 구동을 위한 방법으로 고유전율, 초박막의 게이트 절연층에 대한 연구가 다각도로 진행되고 있다. 본 연구에서는 게이트 절연층으로 알루미늄전극을 양극산화피막처리(anodizing) 후 두께가 얇고 절연성이 우수한 자기조립막(self-assembled monolayer)을 형성시켰다. 특히 양극산화피막처리 전 알루미늄전극을 전기연마(electropolishing) 하여 게이트 절연층의 표면조도(surface roughness)를 낮춤으로써 펜타센(pentacene) 유기반도체소자의 성능을 향상시키고자 하였다. 게이트 절연층의 전기용량(capacitance)은 약 300 nF/cm2를 나타내었고 3V 이하에서 유기반도체소자를 구동 할 수 있었다. 그리고 전기연마를 이용하여 게이트 절연층의 표면조도를 조절함으로써 자기조립막, 펜타센 모폴로지 및 소자특성에 미치는 영향을 살펴보고자 하였다.
저자 양찬우, 신권우, 박찬언
소속 포항공과대
키워드 OFET; low operating voltage; pentacene; self-assembled monolayer; electropolishing
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