| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (05/17 ~ 05/19, 목포 현대호텔) |
| 권호 | 23권 1호 |
| 발표분야 | C. 에너지 재료 분과 |
| 제목 | 저온 공정용 용액기반 인듐틴옥사이드막의 향상된 투명전도 특성 |
| 초록 | 최근 태양전지, 액정 표시장치, 터치스크린 등과 같은 광전자기기에 대한 관심이 큰 폭으로 증가함에 따라 그들의 성능에 직접적인 영향을 미치는 투명전극의 연구개발이 다양하게 진행되고 있다. 투명전극(transparent conducting electrodes)은 낮은 전도도(＞ 10-3 Ω cm) 및 높은 투과율(＞ 80%) 특성을 동시에 제공하는 박막형태의 재료로, 지금까지 Sn-doped In2O3 (ITO), F-doped SnO2 및 Al-doped ZnO 등이 보고되고 있다. 이 중에서도 ITO 투명전극은 우수한 전기적 및 광학적 특성을 인정받아 산업적으로 널리 활용되고 있는 대표적인 투명전극 재료이다. 현재 고성능 ITO 투명전극을 제조하기 위해서 스퍼터링, 진공증착법, 화학기상증착법 등과 같은 진공 공정들이 활용되고 있으나, 이들은 10-5 torr 이하의 고진공 시스템과 고순도의 원재료를 요구하기 때문에 증착 공정이 복잡하고 비용이 다소 높은 문제점이 존재한다. 이로 인해 최근에는 스핀코팅법, 잉크젯프린팅법 및 분무열분해법 등과 같이 용액을 주원료로 사용하는 용액 공정들에 대한 관심이 증가하고 있으며, 이는 상온상압에서 증착이 이루어지므로 공정 자율도가 높고 가격경쟁력이 우수하지만 ITO 투명전극의 고성능을 확보하기 위해서는 400 ℃의 고온 열처리 조건이나 복잡한 유기금속화합물이 사용되고 있어 아직까지 진공 공정에 비해 산업 경쟁력이 부족한 상황이다 [1]. 따라서 우리는 저온 공정에서 ITO 투명전극의 성능을 향상시키기 위해 ITO 투명전극에 전기분무된 ATO와 수소활성화법을 적용하였으며, 이에 대한 구조적, 화학적, 전기적 및 광학적 특성을 자세히 분석하였다. Reference [1] R. M. Pasquarelli, D. S. Ginley, and R. O’Hayre, 40, (2011), 5406-5441. |
| 저자 | 구본율, 안효진, 배주원 |
| 소속 | 서울과학기술대 |
| 키워드 | <P>투명전도막; 인듐틴옥사이드; 스핀코팅; 전기적 및 광학적 특성</P> |
