| 초록 |
투명전도성박막은 높은 투과도(＞80%) 및 낮은 면저항(＜10-3Ω‧cm) 특성으로 인해 태양전지, 평판 디스플레이, 발광 다이오드, 태양전지 등 다양한 광전소자에 응용되고 있다. 이러한 재료로는 주석 도핑 인듐 산화물(ITO), 불소 도핑 주석산화물, 알루미늄 도핑 아연산화물, 안티몬 도핑 주석산화물(Sb-doped SnO2, ATO) 등이 있으며, 그 중에서도 ITO는 우수한 투과도 및 면저항 특성, 우수한 에칭 성능 등의 장점으로 인해 상업적으로 활용되고 있으나 원료인 인듐의 가격 상승과 열적 및 화학적 불안정으로 인한 급격한 특성 저하의 문제점을 가지고 있다. 이에 따라 ITO를 대체할 목적으로 높은 투과도 및 면저항 특성, 우수한 열적 및 화학적 안정성, 저렴한 가격 등의 장점을 갖는 ATO을 활용한 연구가 관심을 받고 있다. 현재까지 우수한 특성의 ATO 박막을 제조하기 위해 주로 진공기반 공정을 사용되고 있지만 이는 높은 진공분위기와 복잡한 증착과정이 필요하기에 투명전도성박막의 가격상승과 응용분야가 제한된다는 한계가 존재한다. 그에 반해 용액기반 공정에 해당하는 초음파분무열분해법은 초음파를 통해 액적을 가열된 기판 위에 분무함으로써 기판의 열로 인해 열분해된 액적의 핵 성장으로 박막이 형성되는 원리에 의해 저렴하고 간단하게 균일한 박막의 형성이 가능한 증착법으로 최근 활발한 연구가 진행 중에 있다. 따라서 본 연구에서는 초음파분무열분해법을 이용하여 ATO 박막을 제조하였으며, 그에 따른 구조적, 화학적, 전기적 및 광학적 특성을 평가하였다. 본 학회에서 위의 내용에 대하여 자세히 논의할 것이다. |
