| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (04/22 ~ 04/23, 여수대학교) |
| 권호 | 11권 1호, p.694 |
| 발표분야 | 열역학 |
| 제목 | 초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼 세정시 이산화탄소와 stripper의 용해도 특성 연구 |
| 초록 | 웨이퍼 세정시 나오는 폐수를 없애기 위해 초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼 세정을 하기위해선 이산화탄소와 stripper의 용해도를 알아야한다. 이번 연구에서는 초임계 이산화탄소에 대한 stripper의 용해도를 순환식 장치를 이용하여 온도(313.15～333.15K) 및 압력(10～25MPa)의 변화시켜 측정 하였다. 실험을 통하여 얻은 데이터를 이론식으로 상관, 비교하여 신빙성을 확인하였다. |
| 저자 | 이선진, 김태형, 임종성, 유기풍 |
| 소속 | 서강대 |
| 키워드 | 용해도; 웨이퍼 세정; stripper |
| 원문파일 | 초록 보기 |
