학회 | 한국고분자학회 |
학술대회 | 2001년 가을 (10/12 ~ 10/13, 순천대학교) |
권호 | 26권 2호 |
발표분야 | |
제목 | Synthesis and Evaluation of a Novel Alicyclic polymer Having 7,7-Dimethyloxepan-2-One Acid Labile Group for 193-nm Photoresists |
초록 | |
저자 | 이재준, 김진백 |
소속 | 한국과학기술원 화학 |
키워드 | |
VOD | VOD 보기 |