화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2001년 가을 (10/12 ~ 10/13, 순천대학교)
권호 26권 2호
발표분야
제목 Synthesis and Evaluation of a Novel Alicyclic polymer Having 7,7-Dimethyloxepan-2-One Acid Labile Group for 193-nm Photoresists
초록
저자 이재준, 김진백
소속 한국과학기술원 화학
키워드
E-Mail
VOD VOD 보기