초록 |
최근 산업의 급격한 발전으로 인하여 기상관측, 전자장비 제작, 수송용 기기, 가정용 가전, 건축물 등 다양한 변화 조건에 따른 정확한 습도 측정 및 조절이 요구되고 있는 실정이며 그 측정 및 조절의 영역도 실온뿐만 아니라 영하 40℃부터 100℃, 수십 ppm에서 100%RH 까지의 넓은 측정 범위에서도 습도 측정이 필요한 실정이다. 습도센서에 요구되는 특성으로는 정전용량, 유전율, 히스테리시스 등이 있다. 이러한 습도센서는 감습 재료에 따라 전해질계, 세라믹계, 반도체계, 고분자계로 나뉘며, 이 중 고분자계는 빠른 응답속도, 넓은 측정 범위, 소형화 및 대량생산이 가능하여 습도센서에 널리 응용되고 있다. 이 중 폴리이미드를 이용한 고분자계 습도센서는 습도 측정 폭의 넓고 고온에서 안정적이며, 출력이 직선형 및 적은 전류를 사용하여 흡습과 탈습이 가능하여 각광 받고 있는 소재중 하나이다. 이러한 폴리이미드 특성과 정전용량형 습도센서의 장점에 의해서 본 연구에서는 dianhydride monomer 종류 및 함량에 따른 폴리이미드 감습재 합성을 통하여 히스테리시스와 감습성이 우수한 정전 용량형 정밀 습도센서를 개발하고자 한다. |