화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU))
권호 26권 1호
발표분야 포스터-환경·에너지
제목 막 축전식 탈염 공정에서의 TMAH 흡착거동 분석
초록 Tetramethylammonium hydroxide(TMAH)는 반도체, 전자산업 등 폭넓은 공업분야에서 이용되는 비교적 안정적인 4급 암모늄 물질로써 2.38% 정도의 낮은 농도라 할지라도 인간의 피부에 접촉될 경우 쉽게 흡수되어 호흡곤란 및 심장마비를 일으키고 사망까지 이르게 할 수 있는 매우 위험한 물질이다. 하지만 널리 사용되는 만큼 이를 포함하는 산업폐수의 양도 갈수록 늘어가고 있어 적절한 처리가 이루어지지 않을 경우 생태계에 큰 악형항을 미칠 수 있다. 본 연구에서는 반도체 폐수를 처리하기 위하여 축전식 탈염 공정을 적용하였으며 이 과정에서 TMAH의 흡착 거동을 분석하였다. 원수는 국내 A반도체 제조회사의 폐수 성상을 참고하여 합성 제조하였다. 실험결과 TMAH는 농도에 따라 흡착에 의하여 최대 90%의 제거율을 나타내었다. 하지만 축전식 탈염 공정의 특성상 흡착 이후 탈착 공정에서 TMAH의 탈착이 제대로 이루어지지 않아 연속운전에 부적합한 결과가 일부 도출되었고 이를 해결하기 위한 방법을 모색하였다.
저자 이주영, 김예솔, 최용준, 이상호
소속 국민대
키워드 Membrane capacitive deionization; Tetramethylammonium; Hazardous material; Rejection; Analysis
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