화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트)
권호 15권 1호
발표분야 반도체재료
제목 Dependence of the Properties of Hydrorhermally-grown ZnO on Precursor Concentration
초록 일차원 구조의 ZnO 나노로드는 나노소자의 응용분야에서 높은 관심을 받아 오고 있다. Hydrothermal 방법은 간편한 기구들과 낮은 비용등의 장점으로 반도체 부분에서 다양한 구조를 만들기 위해 폭 넓게 연구되고 있다. 본 연구에서는 전구체 농도의 영향을 알아 보기 위해 0.06M 에서 1.5 M까지 전구체의 농도에 변화를 주었다. 사용된 기판은 Si(100) 기판 위에 ZnO 완충층이 증착 된 것으로 750℃에서 1시간 동안 열처리 되었다. ZnO/Si(100) 위에 성장된 ZnO는 비교적 낮은 농도 (0.5 M 이하)에서는 heterogenous nucleation에 의해서 나노로드 형태로 잘 정렬되어 성장 되었다. 그러나 농도가 1.0 M 이상으로 증가 될 때, homogeneous nucleation에 의해 적층된 조각으로 morphology가 변했다.  
광학적, 구조적 특성은 PL (Photoluminescence)과 XRD (X-ray diffraction) 방법으로 각각으로 측정 되었다. 0.5 M과 0.3 M에서 각각 가장 좋은 구조적 그리고 광학적 특성이 나타났다. 그러나 1.0 M 이상으로 농도가 증가 되었을 때 이러한 특성들이 열화 되는 것을 관찰 할 수 있었다.  
저자 허주회, 류혁현, 이재엽, 박주현, 최신호, 이태민, Han Qi Fei
소속 인제대
키워드 Hydrothermal; ZnO
E-Mail