학회 한국화학공학회 학술대회 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) 권호 6권 2호, p.4245 발표분야 에너지/환경 제목 ESCA를 이용한 웨이퍼의 세정도 측정 초록 본 연구의 목적은 반도체 웨이퍼를 이용하여 X-광전자분광법(ESCA)를 이용하여 오염물질 변화와 코팅에 따른 웨이퍼의 형태, 습식세정법의 제거효율의 변화를 확인하는 것이다. 저자 이광진, 정용안 소속 인하대 키워드 E-Mail 원문파일 초록 보기 목록보기
