| 초록 |
본 연구에서는 트윈 타겟 스퍼터를 이용하여 성막한 Al 전극을 가진 유기발광소자의 특성을 분석하였다. 트윈 타겟 스퍼터 시스템은 마주보는 두 Al 타겟 사이에 고밀도의 플라즈마를 구속시켜 플라즈마 데미지 현상 없이 유기발광소자의 Al 금속 전극을 성막하기 위하여 특별히 설계, 제작되었다. 트윈 타겟 스퍼터로 성막한 Al 박막의 구조적, 표면 특성을 synchrotron x-ray scattering, FESEM을 이용하여 분석하고, 스퍼터링 공정 시 기판의 온도를 thermo couple을 이용하여 측정하였으며 또한, 트윈 타겟 스퍼터로 성막한 Al 전극을 가진 유기발광소자의 전류-전압 특성을 분석하였다. 트윈 타겟 스퍼터로 성막한 Al 전극은 스퍼터링 공정 시 기판 부의 낮은 온도로 인해 미세 결정을 포함한 비정질의 구조를 보이며, 전체적으로 평탄한 표면 특성을 나타내었다. 또한, 트윈 타겟 스퍼터로 성막한 Al 전극을 가진 유기발광소자는 -6V의 역 바이어스 시 4×10-6 mA/cm2 의 낮은 누설전류를 나타내었다. 이는 두 스퍼터건 사이에 구속된 플라즈마로부터 기판이 충분히 떨어져 있어 강한 입자들의 충격으로부터 벗어나 플라즈마에 의한 데미지를 받지 않았다는 것을 말해준다. 트윈 타겟 스퍼터 시스템을 이용한 낮은 공정온도와 플라즈마 데미지 프리 공법은 유기물을 근간으로 하는 전자소자, 플렉시블 광전소자 등으로의 적용가능성을 보여준다. |
