| 초록 |
가볍고 휴대하기 용이하면 어떠한 형태로 변환 가능한 플렉시블 광전소자의 관심이 날로 증대되고 있다. 플렉시블 광전소자를 상용화시키기 위한 과제로써 폴리머 기판위에서의 저온 공정과 대량생산이 이루어져야 하며, 이에 적합한 투명전극의 성막이 수반되어야 한다. 본 연구에서는 고분자 기판위에 roll-to-roll 시스템의 연속 성막공정과 플라즈마 데미지를 최소화 할 수 있는 대향 타겟 시스템을 접목하여 기존의 roll-to-roll sputtering 시스템에서의 저온 성막을 위해 장착된 cooling drum 없이 저온공정이 가능한 roll-to-roll facing target sputter 시스템을 제작하였다. 이를 이용하여 DC power, Ar/O2 유량비 변화를 변수로 하여 PET 고분자 기판위에 상온에서 성막한 ITO 박막의 전기적, 광학적, 구조적, 표면적 특성을 Hall measurement, UV/Vis spectrometer, X-ray diffraction(XRD) 및 scanning electron microscope(SEM) 분석을 각각 실시하였고, OLED 소자를 제작함으로써 소자로써의 특성을 분석하였다. 최적화된 ITO 박막으로부터 1.3☓10-3 Ω-cm의 비저항 값과 550 nm의 파장에서 89 %의 높은 투과율을 얻을 수 있었으며, ITO 박막과 PET 기판과의 접합성과 안정성을 평가하기 위해 bending test를 실시하였으며, 기판의 전처리 공정을 통한 세정 없이 1000회 이상의 bending test에서 초기저항을 유지함으로 플렉시블 투명전극 제작으로써의 가능성을 제시 하였다. |
