| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2008년 가을 (11/07 ~ 11/07, 차세대융합기술연구원) |
| 권호 | 14권 2호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | 가변 저항 소재용 RuO2 나노 입자의 수열 합성 및 전기적 특성 관찰 |
| 초록 | 트랜지스터와 같은 능동소자 및 배선, 저항, 유전체와 같은 수동소자를 전통적인 리소그라피 방식이 아닌 인쇄공정으로 형성하는 연구가 최근 들어 활발히 진행되고 있다. 특히 배선이나 저항 소자와 같은 수동소자는 제조 단가 절감을 위해 태양전지와 디스플레이 분야에서 이미 공정에 적용되고 있다. 본 연구에서는 수열법으로 수 나노 미터 크기의 RuO2 입자를 합성하고 제조된 나노 입자를 인쇄 공정으로 패턴을 형성한 후 패턴의 화학적 내구성, 전기적 특성 등을 고찰하였다. 일반적으로 물에 잘 녹는 화합물이 없는 Ru는 나노 입자의 합성이 매우 어려운 것으로 알려져 있으나 200 oC, 200 기압의 수열 조건에서 나노 입자로 합성됨을 확인하였으며, 인쇄된 저항 소자의 저항 오차(tolerance)가 20 %이내로 인쇄용 저항 소재로 적합함을 확인하였다. |
| 저자 | 이영국, 류병환, 김창균, 이유민, 정택모 |
| 소속 | 한국화학(연) |
| 키워드 | RuO2; inkjet printing; resistor; hydrothermal |
