| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교) |
| 권호 | 10권 2호 |
| 발표분야 | 세라믹스 |
| 제목 | SrTiO3/BaTiO3 초격자의 산소 유량에 따른 결정성 및 전기적 특성에 관한 연구 |
| 초록 | 강유전체인 SrTiO3/BaTiO3 초격자를 산소 분위기에 따라 Pulsed laser deposition을 이용하여 제조하고 이들의 결정성과 전기적 특성에 관하여 연구하였다. 박막의 결정성, 미세구조, 표면거칠기 등을 X-선 회절기, 주사전자현미경, 원자간력 현미경, 투과전자현미경 등을 이용하여 조사하였다. SrTiO3/BaTiO3 초격자를 Si(100) 기판에 TiN을 버퍼층으로 700℃, 9.0× 10-6torr의 진공에서 주기를 8Hz로 하여 12분 30초간 증착하였다. 그 후 SrTiO3/BaTiO3 초격자를 650℃, 9.0× 10-6torr의 진공, 그리고 위와 같은 조건을 유지하면서 산소를 5sccm, 15sccm, 30sccm을 각각 챔버내에 흘려주면서 증착하였다. 그 결과 초격자의 경우 X-선 회절결과에서 (200)으로 에피성장 되었고, 투과전자현미경에서 SrTiO3/BaTiO3 각각 초격자가 만들어졌다는 것을 확인하였다 |
| 저자 | 김태언, 김보람, 문종하, 김진혁 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | superlattice; ferroelectrics; SrTiO3; BaTiO3 |
