| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2012년 가을 (10/24 ~ 10/26, 부산 BEXCO) |
| 권호 | 18권 2호, p.2366 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 히트의 위치와 히트 쉴드에 의한 탄소 불순물과 온도구배 효과에 대한 시뮬레이션 |
| 초록 | 본 연구에서는 HEM 방식의 다결정 결정성장 공정을 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 대표적 불순물 중 하나인 탄소 불순물을 실리콘 용융액 내에 동일한 농도 가지고 다른 외부에 의한 오염은 존재하지 않는다고 가정하고 히터의 위치 및 히트쉴드에 따른 시뮬레이션을 진행하였다. 시뮬레이션을 통하여 각 히터의 유형 및 히트쉴드에 의한 결성성장 공정의 결정 성장과정 에서의 실리콘 용융액의 대류패턴과 결정화 된 실리콘 잉곳의 온도구배의 비교를 통하여 잉곳 내의 탄소 불순물 함유량 및 결정의 품질에 대하여 예측하였다. Acknowledgment 본 연구는 2010년도 지식경제부 재원으로 한국에너지기술평가원(KETEP) 에너지인력양성사(No. 20104010100580)의 지원을 받았습니다. . |
| 저자 | 이상훈, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
