| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2008년 가을 (11/07 ~ 11/07, 차세대융합기술연구원) |
| 권호 | 14권 2호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | Rf-sputtering법에 의해 제조된 투명전극용 ZnO:Al박막의 flexible한 기판에 대한 전기광학적 특성 연구 |
| 초록 | ZnO는 3.3eV 근처의 band gap을 갖는 전형적인 n-type 반도체로서 광전소자로서 사용하기 위한 투명 전도 물질로 많은 장점을 가지고 있다. ZnO의 기본적인 band gap특성 때문에 자외선 흡수에도 사용할 수 있으며 적은 비용으로 제작 가능하며 높은 광투과성과 전도도 특성을 가지므로 투명전도막 재료로 사용될수 있다. 본 논문에서는 ZnO와 Al을 co-sputter하여 제조된 박막을 flexible한 기판위에 증착하였다. 이에 따른 전기적, 광학적 특성을 평가 하였다. |
| 저자 | 안흥기, 김남철 |
| 소속 | 공주대 |
| 키워드 | ZnO; flexible; 투명전극; sputtering |
