| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2013년 가을 (10/11 ~ 10/12, 창원컨벤션센터) |
| 권호 |
38권 2호 |
| 발표분야 |
고분자구조 및 물성 |
| 제목 |
AFM을 이용한 high aspect 시료의 형상분석 |
| 초록 |
AFM의 측정 방식 중 dynamic mode (DFM)는 시료와 탐침의 비접촉 상태에서 cantilever의 진동을 통해 시료의 morphology를 얻는 방식이다. 그러나 부드러운 시료의 경우 scan할 때 탐침이 수평으로 이동하면서 끌림이나 흡착 현상이 나타나고, high aspect ratio를 갖는 시료의 경우 정확한 morphology 측정에 어려움이 있다. 따라서 dynamic mode의 단점을 극복하는 SIS (Sample Intelligent Scan) mode를 이용해 high aspect ratio를 갖는 시료인 metal mesh의 3차원 형상을 측정하고자 한다. Metal mesh는 PET 표면에 Cu 또는 Al이 격자 모양으로 증착된 시료이다. AFM 측정 전 CLSM 분석을 통해 metal의 선 폭은 약 3 um이며 증착 높이는 약 300 nm임을 확인하였다. |
| 저자 |
김솔지, 손지희, 임호연
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| 소속 |
LG하우시스 (연) |
| 키워드 |
AFM; SIS; High aspect ratio; metal mesh
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| E-Mail |
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