| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2012년 가을 (10/24 ~ 10/26, 부산 BEXCO) |
| 권호 | 18권 2호, p.2343 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | MOCVD법을 이용한 리튬 이차전지용 고체전해질의 증착 및 특성 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 LiPON film 증착 공정을 개발하기 위해 MOCVD 법을 이용하였다. 전구체로 lithium dipivaloylmethane 과 triethyl phosphate 를 사용하였다. 표면온도 500 ℃ 에서 온도가 증가함에 따라 증착률이 선형적으로 증가함을 알 수 있었고 증착된 LiPON film 은 비정질이였다. P 와 N 은 500 ℃ 의 표면온도에서 상대적으로 부족하지만 온도를 증가시킬 경우 함께 증가함을 알 수 있었다. MOCVD 법으로 증착된 LixPOy film 에서 산소와 질소가 치환된다는 점과 온도가 높아질수록 치환이 잘된다는 것을 알 수 있었다. 그리고 triethyl phosphate 가 분해되는 정도에 따라 Li 의 양이 결정됨을 알 수 있었다. 결과적으로 MOCVD 를 이용한 LiPON film 증착에서 Li(DPM) 과 TEP 는 550 ℃ 이상의 온도가 요구되고 TEP 의 분해가 LiPON 과 adduct 의 형성에 많은 영향을 끼친다고 할 수 있다. Acknowledgements This research is supported by GS Caltex, and the Human Resources Development Program of Korea Institute of Energy Technology Evaluation and Planning (KETEP) grant (No. 20104010100580) funded by the Korean Ministry of Knowledge Economy. |
| 저자 | 문태홍, 김홍탁, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | LiPON; MOCVD |
| 원문파일 | 초록 보기 |
