| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | B. 나노 재료(Nano Materials) |
| 제목 | Bulk Micromachining of Si by Metal-assisted Chemical Etching with optimized metal type and morphology |
| 초록 | . |
| 저자 | KIM SANGMI1, Dahl-Young Khang2 |
| 소속 | 1Department of Materials Science and Engineering, 2Yonsei Univ. |
| 키워드 | metal-assisted chemical etching; bulk Micromachining |
