화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교)
권호 7권 2호, p.4927
발표분야 재료
제목 산소플라즈마를 이용한 ITO(indium-tin-oxide) 표면처리 특성에 관한 연구
초록 본 연구에서는 ITO막의 유기발광소자에 대한 적용을 위한 전처리 공정을 거치는 과정에서 수행되어진 산소플라즈마 처리에 대하여 어떠한 특성을 갖게 되는지에 관하여 분석을 하였다.
저자 김형식, 이준호, 이태진, 김정문, 박진호
소속 영남대
키워드 유기발광소자; ITO(indium-tin-oxide); 일함수; 산소플라즈마
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