학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교) |
권호 | 7권 2호, p.4927 |
발표분야 | 재료 |
제목 | 산소플라즈마를 이용한 ITO(indium-tin-oxide) 표면처리 특성에 관한 연구 |
초록 | 본 연구에서는 ITO막의 유기발광소자에 대한 적용을 위한 전처리 공정을 거치는 과정에서 수행되어진 산소플라즈마 처리에 대하여 어떠한 특성을 갖게 되는지에 관하여 분석을 하였다. |
저자 | 김형식, 이준호, 이태진, 김정문, 박진호 |
소속 | 영남대 |
키워드 | 유기발광소자; ITO(indium-tin-oxide); 일함수; 산소플라즈마 |
원문파일 | 초록 보기 |