| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (04/20 ~ 04/21, 대구 인터불고 호텔) |
| 권호 | 12권 1호, p.199 |
| 발표분야 | 미립자공학 |
| 제목 | SiH4 PCVD 공정에서 입자 성장에 대한 펄스 변조의 영향 |
| 초록 | 본 연구에서는 펄스 플라즈마 반응기 내에서 입자 충돌에 의한 입자 성장을 이론적으로 분석하였다. plasma-on 기간 동안 시간이 지남에 따라 큰 입자들이 생성된 후 작은 입자군의 입자들은 큰 입자들과의 충돌에 의해 빠르게 소모되고 큰 입자들은 계속 성장하여 입자크기분포는 작은 입자군과 큰 입자군으로 나뉘었다. 입자 크기가 증가함에 따라 전자가 충돌하는 입자 표면적은 증가하므로 입자가 가지는 평균 음전하수는 증가하였다. |
| 저자 | 김동주, 김교선 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | 입자 충돌; 입자 성장; 펄스 플라즈마 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
