| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2008년 봄 (05/09 ~ 05/10, 한양대학교(안산)) |
| 권호 | 12권 1호 |
| 발표분야 | 무기재료 |
| 제목 | PCVD 공정을 이용한 박막 코팅 |
| 초록 | 박막은 우수한 물리적 성질로 고성능 물질을 필요로 하는 많은 분야에 적용되고 있다. 박막이 코팅된 물질은 분산 능력과 안정성이 향상되고 기계적 성질도 강화되므로 그동안 수많은 연구자들이 입자에 박막을 코팅하는 연구를 진행해 왔다. 본 연구에서는 회전하는 실린더형 ICP 반응기를 이용하여 입자에 TiO2 박막을 증착하였고 공정변수에 따른 박막 특성을 분석하였다. TiO2 박막의 전구체인 TTIP의 농도가 증가할수록 증착된 박막의 두께는 증가하였으며 반응기의 회전 속도가 빨라질수록 박막의 두께가 증가하였다. |
| 저자 | 김교선, 강진이, 김동주 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | 입자 코팅; 플라즈마 기상 화학 증착 공정; TiO2 박막 코팅 |
