| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1913 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 수소(운반기체)를 사용하여 제조된 Iron silicide 막의 특성 |
| 초록 | 운반기체로 Ar을 사용하였을 때 기판의 온도와 실란의 유량에 따라 제조된 막은 출력 과 실란의 유량이 증가할수록 기상에서의 충돌빈도가 증가하여 분해결합이 활발히 이루어져탄소와 수소의 결합량이 증가하는 것으로 나타났다. 본 실험에서 제조된 막은 수소의 부족으로인하여 철 전구체가 철과 Cp으로 분해되지 않고 다양한 C-H 결합이 이루어 졌음을 확인할 수 있었다. 특정 실험조건에서 결합된 탄소와 수소는 결함으로 작용하여Stranki-Krastanov 성장을 한다는 것을 알 수 있었다. |
| 저자 | 김경수, 전법주, 윤용수, 정일현 |
| 소속 | 단국대 |
| 키워드 | Iron Silicide; Plasma CVD; Metallocene; Stranski-Krastnov Growth |
| 원문파일 | 초록 보기 |
