| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교) |
| 권호 | 6권 1호, p.1973 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 플라즈마 CVD 용 기판 가열기 해석 |
| 초록 | 본 연구에서는 기판 가열기를 모델링하여 실험데이터와 비교함으로써 좋은 기판 가열기를 제작하는 방안을 제시하고, 증착 압력, rf power 등 증착 변수에 따른 실질적인 기판온도를 밝히고자 하였다. |
| 저자 | 최락준, 임연호, 정탁, 한윤봉 |
| 소속 | 전북대 |
| 키워드 | Plasma CVD; Heat transfer; Substrate temperature; Substrate heater modeling |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
