| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2012년 가을 (11/07 ~ 11/09, 라카이샌드파인 리조트) |
| 권호 |
18권 2호 |
| 발표분야 |
A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 |
트렌치형 센서 플랫폼 기반 네트워크 나노선 가스센서의 제조 및 감응특성 Fabrication and sensing properties of networked nanowire gas sensors based on trench sensor platform |
| 초록 |
산화물 나노선은 그들의 벌크 혹은 박막과 상당히 다른 물리적, 화학적 특성을 지녀 이에 대한 연구가 국내외적으로 활발히 이루어져 왔다. 산화물 나노선을 기반으로 한 가스센서는 소형화할 수 있다는 점과 가스 분자의 빠른 확산으로 인한 빠른 반응속도와 회복 시간, 또한 낮은 온도에서도 작동 가능하단 점 등 굉장히 많은 장점을 지니고 있다. 하지만 제작상의 문제와 극미량의 신호에 대한 낮은 신뢰도로 인해 산화물 나노선 가스센서는 많은 어려움을 겪어왔다. 이러한 문제점을 피하기 위한 방법으로 네트워크 나노선 가스센서를 이용하는 연구가 활발히 진행 중이다. 본 연구에서는 기상성장법을 이용하여 트렌치형 센서 플랫폼에 선택적으로 SnO2 나노선을 성장시켰으며, 감마선을 조사하여 Pt 나노입자를 SnO2 나노선 표면에 형성하였다. 또한 트렌치형 센서 홈의 폭에 따른 가스센서의 감응 특성과 여러 종류의 가스에 대한 감응 특성을 조사하였다. |
| 저자 |
선건주, 김상섭
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| 소속 |
인하대 |
| 키워드 |
nanowire; gas sensor; SnO2; trench
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| E-Mail |
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