| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2015년 가을 (11/25 ~ 11/27, 부산 해운대그랜드호텔) |
| 권호 | 21권 2호 |
| 발표분야 | G. 나노/박막 재료 |
| 제목 | Thermal Chemical Vapor Deposition을 이용한 온도 및 시간에 따른 MoS2박막의 성장 및 특성 분석 |
| 초록 | 2차원 탄소원자들의 육각형 벌집구조인 그래핀은 빠른 전하이동도, 높은 강도 및 열전도도 등의 뛰어난 기계적, 열적, 전지적 특성으로 차세대 이차원 물질로써 지금까지 활발한 연구가 진행되어 왔지만, 에너지 밴드 갭이 없는 관계로 전자 소재의 응용에 근본적인 한계가 있다. 이러한 문제해결을 위해 그래핀을 대체할 수 있는 2차원 물질로써 전이금속 칼코겐 화합물에 관심이 쏠리고 있고 특히 MoS2에 관한 연구가 증가하고 있다. MoS2는 bulk와 같은 다층구조에서는 간접 밴드갭을 가지지만 layer의 수가 줄어들어 단층으로 갈수록 직접 밴드갭으로 변화하여 전기적 특성이 달라진다. 그러므로 소자응용의 중점인 두께 및 균일성에 대한 연구가 활발히 진행중이다. 본 연구에서는 Thermal Chemical Vapor Deposition방식으로 MoS2를 성장하였으며, Ar+H2S 가스분위기로 Molybdenumhexacarbonyl Source 온도 0°C/5°C에서의 각각 200-700°C의 온도에 따른 MoS2 박막을 성장하였다. 또한 0ºC 고정에서의 5sec-1min의 시간에 따른 성장을 진행하였고, Raman, XRD, SEM 측정을 통한 특성을 분석하였다 |
| 저자 | 김의태, 서동범 |
| 소속 | 충남대 |
| 키워드 | MoS<SUB>2</SUB>; CVD |
