| 초록 |
최근에 균일한 표면과 높은 결정성을 갖는 백색 발광체 개발에 많은 노력이 경주되고 있다. 본 연구에서는 초기물질 SrO, MoO3, Sm2O3를 화학 양론적으로 준비하여 1000℃에서 5시간 동안 소성한 SrMoO4:Sm 분말 시료를 40 MPa의 프레스로 10분 동안 힘을 가하여 직경 1인치의 원형 소결체를 제작하여 라디오파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 사파이어 기판 상부에 박막을 증착하였다. 타겟과 기판 사이의 간격은 5 cm로 고정하였으며, 스퍼터링 챔버의 초기 진공도는 로터리 펌프와 터보 펌프를 사용하여 5×10-6 torr로 배기하였고, 증착시 기판의 온도는 시편 고정대 뒤에 장착되어 있는 할로겐 램프를 사용하여 증착 온도를 100, 200, 300, 400℃로 변화시켰다. 스퍼터링시 챔버의 진공도를 2.5×10-2 torr로 유지하였으며, 균일한 박막을 성장하기 위하여 시편 고정대를 모터를 사용하여 10 rpm의 속도로 회전시키면서 박막을 증착시켰다. 다양한 온도로 사파이어 기판 위에 성장된 SrMoO4:Sm 박막을 파장 276 nm로 여기 시켰을 때 발광 스펙트럼은 각각 567, 606, 649, 708 nm에서 관측되었다. 증착 온도에 관계없이, 모든 박막 시료는 649 nm에서 가장 강한 발광 스펙트럼을 나타내었고, 흡광과 발광 스펙트럼의 세기와 결정 입자의 크기를 증착 온도 변화에 따라 조사하였다. |
