| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 | Metal/SWCNT bilayer 전극을 이용한 TFT 특성 (Characteristics of TFT with a metal/SWCNT bilayer electrode) |
| 초록 | Single-wall carbon nanotube (SWCNT)는 우수한 열 전달특성과 탄성 강도뿐만 아니라, 전기적 특성과 광학적 특성이 뛰어나기 때문에 대표적인 투명전극 재료인 indium-tin-oxide (ITO)를 대체할 수 있는 물질로 많이 연구되고 있다. 이러한 SWCNT는 분자 비대칭성에 따라 다양한 밴드갭을 갖는 금속 특성이나 반도체 특성을 가질 수 있지만, 정제 효율이 높지 않아 완벽하게 분리할 수 없는 문제점이 있다. 또한 응용 소자는 대부분 금속과의 접촉이 필요하기 때문에 SWCNT와 금속과의 접합면에서 높은 접촉저항이 발생하여 캐리어의 이동도 소실이 발생하기 때문에 전기적 특성의 저하를 유발한다. 그러므로 소자의 전기적 특성을 높이기 위해서는 접촉저항을 낮추는 것이 필수적이다. 본 연구에서는 SWCNT와 금속 간의 접촉 저항을 낮추기 위해 metal/SWCNT bilayer 전극을 제작하고 thin film transistor (TFT)에 적용하고자 하였다. Evaporation 공정을 이용하여 금속을 5~10 nm 두께로 증착하고, spray-coating 방법으로 SWCNT를 코팅하여 전극을 형성하였다. 금속의 두께 변화에 따라 UV-vis를 이용하여 전극의 투과도와 밴드갭을 측정하였으며, 채널물질로 indium-zinc-oxide (IZO)을 증착하여 TFT를 제작하였다. 전극의 특성평가를 위하여 I-V 특성 분석을 통해 Ion/Ioff ratio, 이동도, sub-threshold swing, 문턱전압 등의 전기적 특성과 광학적 특성을 바탕으로 투명전극으로서의 적합성을 평가하였다. |
| 저자 | 이수정, 안인경, 이태일, 명재민 |
| 소속 | 연세대 |
| 키워드 | Single-walled carbon nanotube (SWCNT); Spray coating; Metal/SWCNT bilayer electrode |
