화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2011년 가을 (10/26 ~ 10/28, 송도컨벤시아)
권호 17권 2호, p.1825
발표분야 재료
제목 Zinc oxide seed layer 형성 조건 제어를 통한 나노구조체 형상 조절 기술 연구 및 소자화
초록 Sol-gel 및 hydrothermal growth method를 이용한 zinc oxide(ZnO) nanorod(NR)는 제작 시 고가의 장비가 필요치 않기에 저비용 대면적 박막을 제작하는데 적합하지만 NR들의 array 및 density 조절에서 어려움을 가지고 있다. 본 연구에서는 이러한 NR array 형상 조절을 위하여 ZnO seed layer 형성 과정 중 precursor solution에 이종 나노 입자를 첨가하였다. 첨가한 seed precursor solution을 spin coating한 이후에 후처리 하여 hydrothermal method를 이용해 성장시켰다. 이를 이용해 합성한 NR들을 optic과 FE-SEM으로 측정해 rod들의 density 변화를 확인 후, piezo electric 소자와 field effect 소자를 제작 각각의 특성을 확인하였다
저자 이재혁1, 김선민1, 이수민1, 김성현1, 김태근2
소속 1전자부품(연), 2고려대
키워드 ZnO; sol-gel; nanorods; hydrothermal
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