| 초록 |
펜타센을 이용한 유기박막트랜지스터는 현재 amorphous Si-TFT 수준의 우수한 전하이동도를 보이고 있지만, 산소나 수분 등에 의해 채널이나 게이트 절연막 계면에 수많은 trap state을 만들게 되며, 이들로 인해 소자의 성능은 급격히 저하된다. 따라서 소자의 안정성 확보를 위해 산소/수분을 차단할 수 있는 passivation 기술이 가장 시급한 과제로 대두되고 있다. 이에 본 연구에서는 유기박막트랜지스터의 공기 중에서의 전기적 특성 평가 및 hysteresis를 연구하며, 이들을 불소계 고분자 물질을 이용하여 passivation 하였다. 일반적으로 용매에 약한 특성을 보이는 펜타센의 경우, 용액공정을 이용한 passivation에 많은 제약이 있으며, 이에 본 실험에서는 수분산된 불소계고분자 용액을 이용하여 passivation 하여 소자에 미치는 영향을 최소화 하였다. 기존 수용성 고분자 물질로 많이 쓰이고 있는 poly(vinyl alcohol)을 이용한 passivation 과도 비교 분석하였으며, Passivation 효율을 향상시키기 위해 유/무기물을 multilayer로 적층하여 소자의 안정성을 향상시켰다. |
