| 초록 |
X-ray reflectivity 분석 기술은 박막 내부의 밀도 분포나 구조 및 특성을 파악할 수 있는 유일한 비파괴적 실험방법이다. 이러한 장점에도 불구하고, 밀도 분포를 얻기 위해 필연적으로 뒤 따르는 fitting 과정의 어려움과 부정확성으로 인하여 고분자 박막 분야에 대한 연구에 한정적으로만 적용되어왔다. 본 연구실은 이러한 문제를 극복하기 위하여 한 차원 정밀해진 data 전 처리 과정을 정립하였고, 이를 DWBA(Distorted Wave Born Approximation)에 근거하여 제작된 분석 소프트웨어를 이용하여 분석 함으로써, 박막 내의 정밀한 밀도 분포를 얻어내었다. 고분자 박막은 Si 기판 위에 각각 PMMA와 PS를 spin-coating 하여 제작하였으며, 포항 방사광 가속기 연구소(PAL)에서 XRR(X-Ray Reflectivity) 측정을 하였다. 실험을 통하여 얻어진 밀도의 분포는 각 고분자 박막이 기판과 상호작용하는 경향이 밀도 분포상에서 어떻게 드러나는 가를 가지고 검증하였으며, 결과적으로 이러한 분석 방법이 기존의 fitting에 비해 상당히 정확한 정밀도를 가지고 있음을 확인할 수 있었다. |
