| 초록 |
본 연구에서는 고품위 flexible 유기태양전지 제작을 위해 선형 대향 타겟 스퍼터(LFTS)시스템을 이용하여 InZnSnO (IZTO) 투명전극을 PEDOT:PSS/polyethylene terephthalte (PET) 기판 위에 성막하고 이를 박막형 유기태양전지(OPVs)에 적용함으로써 LFTS 시스템을 이용한 하이브리드 IZTO/PEDOT:PSS/PET 투명전극의 유기태양전지로의 적용가능성을 타진하였다. 전도성 PEDOT/PSS 전극은 gravure printing 공법을 통한 roll-to-roll 연속공정으로 100nm 두께의 박막을 형성시켰으며, 이후 LFTS 시스템을 이용하여 IZTO 투명전극을 5~40nm 두께로 조절함으로써 하이브리드 IZTO/PEDOT:PSS/PET 투명전극의 특성을 최적화하였다. 성막공정 중 PEDOT:PSS/PET로의 플라즈마 데미지를 최소화 하기위해 substrate to target distance (TSD)를 2.5~5cm로 변화시켰으며, 최적화된 TSD 거리 2.5cm IZTO 두께 30nm 조건에서 300ohm/sq. 면저항 값과 가시광선 영역 (400~800nm) 83% 이상의 광투과율을 나타냄을 4-point probe와 UV/Vis spectroscopy 분석을 통하여 확인할 수 있었다. 하이브리드 투명전극의 구조적, 표면적 특성 및 flexibility 특성을 x-ray diffraction, scanning electron microscopy 및 bending test를 통해 각각 확인되었으며, 최적화된 하이브리드 IZTO/PEDOT:PSS/PET 투명전극과 이를 이용한 flexible 유기태양전지로부터 FF : 59.04%, Voc : 0.588V, Jsc : 7.554 mA/cm2, PCE : 2.622%의 특성을 확인함으로써 LFTS 시스템을 이용하여 제작된 하이브리드 IZTO/PEDOT:PSS/PET 투명전극의 OPV로의 적용가능성을 확인하였다. |
