| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
| 제목 |
수소 플라즈마 전처리 공정을 통한 단결정 실리콘 웨이퍼의 표면 패시베이션 특성 비교 |
| 초록 |
본 연구에서는 단결정 실리콘 웨이퍼의 수소 플라즈마 전처리 공정을 통한 소수 반송자 수명의 향상에 대해서 연구하였다. 단결정 실리콘 웨이퍼는 SDE, HPM, SPM 공정을 거친 후 후면에 SiNx:H 박막을 증착하였으며 전면에 수소 플라즈마 전처리 후 in-situ 공정으로 SiNx:H 박막을 증착하였다. SiNx:H 박막은 PECVD를 사용하여 80~85nm두께로 증착하였다. 각 샘플은 quasi-steady-state-photoconductanc를 사용하여 소수 반송자 수명을 측정하여 표면 패시베이션 효과를 비교하였으며 Fourier transform infrared spectroscopy를 통하여 각 원자들의 결합 변화를 확인하였으며 secondary ion mass spectrometer를 통하여 수소, 탄소원자의 함량변화를 두께에 따라 측정하였다. 추가적으로 atomic microscopy를 통하여 표면 평탄도를 측정하였다. 소소 플라즈마 전처리 공정을 진행하지 않았을 경우 소수 반송자 수명은 36.6μs으로 측정되었으며 수소 플라즈마 전처리 공정을 진행한 경우 소수 반송자 수명은 75.2μs으로 증가하였다. 그리고 secondary ion mass spectrometer 분석 결과 실리콘 웨이퍼와 SiNx:H 박막 계면에서 수소 원자의 함량이 증가한 것으로 확인되었다. |
| 저자 |
김영도1, 강민구1, 박성은1, 송주용1, 탁성주1, 권순우2, 윤세왕2, 김동환1
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| 소속 |
1고려대, 2TS Corporation R&D center |
| 키워드 |
solar cell; lifetime; passivation; hydrogen plasma
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| E-Mail |
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