화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2001년 봄 (04/13 ~ 04/14, 한양대학교)
권호 26권 1호
발표분야
제목 A Novel Characterization of Nanoporous Structures in Ultra Low-k Films Using Tapping Mode-AFM
초록
저자 주상현1, 김연상2, 이준구3, 차국헌, 진문영*, 윤도영**
소속 1서울대 응용화학부, 2*한국화학(연), 3**서울대 화학
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