| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교) |
| 권호 | 6권 1호, p.1969 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | GaN 증착용 Modified HVPE 반응기의 전산 유체 역학적 설계 |
| 초록 | 본 연구에서는 GaN 기판 제작 기술 개발의 한 단계로서 기존의 HVPE법을 개선한 Modified HVPE 반응기를 직접 설계, 제작하였으며, CFD를 이용하여 이 반응기 내에서의 유체역학적인 흐름에 대한 특성을 분석하였다. |
| 저자 | 최순욱, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | CFD GaN 반응기 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
