| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 봄 (04/24 ~ 04/25, KOEX) |
| 권호 | 4권 1호, p.997 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 디에틸실란/산소로부터 이산화규소 저압화학증착의 속도론적 연구 |
| 초록 | 수평형 반응기에서 디에틸실란과 산소로부터 SiO2 화학증착의 속도론적 연구를 이론적으로 실시하였다. 광범위한 운전조건에서 박막증착속도와 균일성을 조사하였다. |
| 저자 | 김철진, 김의정 |
| 소속 | 울산대 |
| 키워드 | LPCVD; SiO2 Films; Dethylsilane |
| 원문파일 | 초록 보기 |
