| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 봄 (04/24 ~ 04/25, KOEX) |
| 권호 | 4권 1호, p.829 |
| 발표분야 | 분체공학 |
| 제목 | 플라즈마 반응기에서의 입자 전하 분포와 입자 충돌 |
| 초록 | 본 연구에서는 반도체 제조 공정에 활용되고 있는 실란 PCVD 반응기 내에 플라즈마 벌크 영역 에서의 입자 성장을 모델식을 사용하여 고찰하였다. 수치 모사를 위한 모델식에는 입자간 충돌에 의한 입자 성장과 입자의 평균 전하와 전하 분포 등을 거대입자 크기,입자 성장 속도 등을 변화시켜가며 고찰하였다. |
| 저자 | 김동주, 김교선 |
| 소속 | 강원대하교 공과대 |
| 키워드 | 플라즈마; 전하분포; 성장 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
