| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교) |
| 권호 | 6권 1호, p.453 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | 반복 학습 제어 기법을 이용한 고속 열처리공정의 온도 균일 제어 |
| 초록 | 본 연구에서는 고속 열처리공정에서의 웨이퍼의 온도 균일 제어를 기존의 LQG 알고리듬에 학습 제어 기능을 가미한LQG-ILC 알고리듬을 적용하여 그 성능을 검증하였다. |
| 저자 | 이진호, 이광순, 최진훈 |
| 소속 | 서강대 |
| 키워드 | ILC; RTP; LQG |
| 원문파일 | 초록 보기 |
