| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1865 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 출발물질이 Barium Titanate 수열박막 성형에 미치는 영향 |
| 초록 | 최근 강유전체 BaTiO3박막은 유전율이 높아 DRAMs, PTCR thermistor, gas sensor 등의 응용에 널리 응용되고 있다. 일반적으로 물리증기증착법(PVD)이나 화학증기증착법(CVD), 졸-겔법 등 BaTiO3박막을 제조하는 많은 방법들이 사용되고 있다. 그 중 물리증기증착법은 결정화를 위하여 고온의 후처리를 필요로 하고 이 과정에서 입자들의 불균일한 결정화와 증발로 인하여 최종제품의 유전적 성질을 떨어뜨리는 단점이 있다. 또한 화학증기증착법이나 졸-겔법 등은 유기잔류물을 제거하기 위하여 500℃이상 고온의 소결과정에서 균일하지 않은 박막이 형성되거나 기판과 박막과의 균열이나 벗겨짐이 발생하기도 한다.한편, 액상증착방법의 하나인 수열합성법은 초임계 또는 아임계 상태의 고온 수용액을 이용하여 용해도가 낮은 무기 산화물을 석출시키는 반응법으로서 반응온도, 반응압력, 용질의농도, 용매의 농도 및 기타 첨가제의 농도와 같은 열역학적 변수의 조절이 가능하기 때문에이를 이용하여 결정화 반응을 제어할 수 있을 뿐만 아니라 소결과정 없이 낮은 온도(100∼300℃)에서 균일하고 좁은 입도분포를 갖는 미세결정의 박막을 용액상에서 직접 얻을 수 있다. 본 연구에서는 수열합성법을 이용하여 Si웨이퍼 위에 BaTiO3박막을 제조하였으며 출발물질과 광화제의 농도가 박막의 제조에 미치는 영향에 대하여 조사하였다. |
| 저자 | 공현구, 서경원 |
| 소속 | 아주대 |
| 키워드 | BaTiO3; 박막; 수열합성법 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
