| 초록 |
Carbon nanotube (cnt) 는 크기는 작으면서도 강도와 표면적 그리고 안정성이 매우 우수하여 전계 방출 디스플레이, 2차전지와 연료전지, 극 미세 전자 스위칭 소자와 초미세 시스템, 기체저장, STMAFMprobe의 tip, 고출력 전기화학 축전기(high powerelectrochemical capacitors)등 다양한 분야에 관해서 연구가 진행되고 있다. carbonnanotube를 이용한 electrochemical capacitor의 경우 resin powder와의 mixing, molding, carbonization, nitric acid treatment 와 같은 여러가지 복잡한 단계를 거쳐서 제작되었다.[4]본 연구는 metal plate에 탄소 나노튜브를 증착 시켜 기존의 여러 복잡한 단계를 거치지 않고 바로 전극으로 사용하는방법의 개발에 목적이 있다. 사용된 substrate는 SUS304 plate(thickness: 0.2 mm, size: 10×30 mm) 이다. 알려진 여러 합성방법 중 substrate 전면적에 carbon nanotube가 균일하게 분포될 수 있고, 비교적 고순도의 재료를 얻을 수 있는 PECVD를 이용하였다. HF dipping time과 압력으로 각각 carbon nanotube의 직경 (outer diameter) 과 흑연화 (graphitization) 를 조절 할 수 있었고, 용량은 초기에는 14! F!/g, 50사이클 이후에는 6 F/g이였다. |
