| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 봄 (04/24 ~ 04/25, KOEX) |
| 권호 | 4권 1호, p.913 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | TiN 유기금속 화학증착 공정을 위한 tetrakis-dimethyl-amino-titanium의 열분해특성에 관한 연구 |
| 초록 | TiN은 우수한 전도성, 안정성 등 뛰어난 특성 때문에 초고집적회로 설계시 유망한 확산장벽으로 사용된다(1). 특히 sputtering의 층덮힘 문제와 무기화합물인 TiCl4의 부식, 고온공정 등의 여러 문제점으로 인하여(2) 현재에는 유기금속 전구체인 tetrakis-dimethyl-amido-titanium(TDMAT), tetrakis-diethyl- amido-titanium(TDEAT) 등이 많이 사용되고 있다(3). 이중에서도 높은 증기압 등의 장점으로 인하여 TDMAT를 이용한 TiN 유기금속 화학증착 공정에 대한 연구들이 많이 진행되고 있으나 근본적인 반응메카니즘에 대한 연구는 거의 전무한 상태이다. 따라서 본 연구에서는 NMR, 열분석기와 in-situ IR, mass spectrometry 등을 이용하여 액, 기상에서의 TDMAT의 열적특성과 반응메카니즘을 관찰하여 TiN 박막증착공정에 대한 제반기술을 마련하려 한다. |
| 저자 | 윤주영, 박만영, 이시우 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | TiN; MOCVD; Thermal decomposition; TDMAT; Diffusion barrier |
| 원문파일 | 초록 보기 |
